光谱椭偏仪显微分光光度计

光谱椭偏仪显微分光光度计

型号：SE-MSP

可通过椭圆偏振光度法在超薄膜上工作，并且还具有通过微反射法与椭圆度计和微分光光度计相结合的*配置的小面积微反射法。TFProbe 3.3版本软件将处理测量和分析。

对于某些应用（例如MEMS或半导体产品晶圆上的功能），希望有一个小的探测点。将显微分光光度计与椭圆偏振光度计集成在一起后，工具的功能将大大扩展。SE-MSP型是为此目的而设计的。MSP在反射法模式下工作，并以法向入射角进行测量，这是对非法向入射角SE设置的补充。SE和MSP的波长范围可以根据应用需求进行不同配置。所有选项都是可选的。

应用范围：

•半导体制造（PR，氧化物，氮化物..）

•液晶显示器（ITO，PR，液晶盒间隙…..）

•法医，生物膜和材料

•油墨，矿物学，颜料，碳粉

•药品，医疗器械

•光学涂料，TiO2，SiO2，Ta2O5…..

•半导体化合物

•MEMS / MOEMS中的功能膜

•非晶，纳米和晶体硅

特征：

•易于使用，基于Window的软件进行操作

•*光学设计可实现*系统性能

•使用SExxxBA选项以0.001度的分辨率自动更改入射角

•高功率光源，适用于宽带应用

•基于阵列的探测器系统可确保快速测量

•测量多层膜的厚度和折射率，允许用户设计无限层的模型

•系统附带全面的光学常数数据库

••TFProbe 3.3软件允许用户为每膜使用NK表，色散或有效介质近似值（EMA）

•三种不同的用户级别控制：工程师模式，系统服务模式和简易用户模式

•灵活的工程师模式，适用于各种配方设置和光学模型测试

•强大的一键式按钮解决方案，可进行快速和常规的测量

•可配置的测量参数，操作简便

•全自动系统校准和初始化

•直接从样品信号获得精确的样品比对接口，无需外部光学器件

•精确的高度和倾斜度调整

•适用于许多不同类型，厚度不同的基材

•各种选件，附件可用于特殊配置，例如测绘台，波长扩展，焦点等

•2D和3D输出图形和用户友好的数据管理界面

••用于微米区域选择的数字成像工具

•集成反射计，用于小范围内的反射测量

系统配置：

探测器：探测器阵列

波长范围可配置为190至1700nm

光源：基于SE和MSP的波长范围

入射角更改：自动，带有程序设置

阶段：手动或自动映射阶段

软件：TFProbe 3.3

SE和MSP结合

电脑：Intel i3处理器

显示器：22英寸宽屏液晶

电源：通用110– 240 VAC / 50-60Hz，6 A