1、 匀胶机工作原理： SPIN-300匀胶旋涂仪（spin coater）的工作原理是高速旋转基片，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上，匀胶机常用于各种溶胶凝胶（Sol-Gel）实验中的薄膜制作，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。 2、匀胶机型号及技术参数如下： 型号 | SPIN150i | SPIN200i | POLOS300 | POLOS450 | POLOS600 | 基片范围 | 直径160mm or 4?方片 | 直径260mm or 6?方片 | 直径360mm or 8?方片 | 直径460mm or 350mm方片 | 直径600mm or 430mm方片 | 程序段数 | 无限制 | 无限制 | 无限制 | 无限制 | 30个程序 | 操作步数 | 无限制 | 无限制 | 无限制 | 无限制 | 90个步骤 | 旋转速度 | 0-12,000 rpm ±1rpm steps | 0-12,000 rpm ±1rpm steps | 0-12,000 rpm ±1rpm steps | 0-1500rpm ±1rpm steps | 0-1,500 rpm ±1rpm steps | 旋转精度 | ±0.1 rpm | ±0.1 rpm | ±0.1 rpm | ±0.1 rpm | ±0.1 rpm | 旋转方向 | 顺时针、逆时针、交换摆 | 顺时针、逆时针、交换摆 | 顺时针、逆时针、交换摆 | 顺时针、逆时针、交换摆 | 顺时针、逆时针 | 加速度 | 30,000 rpm/sec | 30,000 rpm/sec | 30,000 rpm/sec | ≤1500rpm时取决于负载 | 500 rpm/sec | 旋转时间 | 无限制*,± 0.1 seconds steps | 无限制*,± 0.1 seconds steps | 无限制*,± 0.1 seconds steps | 无限制*,± 0.1 seconds steps | 1 to 999 sec/step | 腔体直径 | 202 mm | 302 mm | 402 mm | 502 mm | 642mm | 外形尺寸 (w*h*d ) | 274 x 250 x 451 mm | 380 x 307 x 559mm | 430 x 310 x 650mm | 795 x 638 x 922mm | 800 x 1,450 x 1,650mm | 触屏控制 | 全彩触屏控制 | 全彩触屏控制 | 全彩触屏控制 | 全彩触屏控制 | 全彩触屏控制 | 设备重量 | 14Kg | 20Kg | 32Kg | 75Kg | | 电源参数 | 220V,50/60 Hz | 220V,50/60 Hz | 220V,50/60 Hz | 220V,50/60 Hz | 220V,50/60 Hz |
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三、匀胶机的特点：
1、该SPIN-300匀胶旋涂仪采用德国*技术：
2、匀胶机采用NPP天然聚丙烯材质构造设计，这种材质有很好的抗腐蚀性和抗化学物性，美观大方；
3、匀胶机真空Chuck经精密加工制成，具有良好的光洁度及平整度，保证晶圆片被很好地吸附，主轴采用进口微型单列向心球轴承支撑，轴向有弹性垫及调整垫，可保障主轴具有较高的精度。
4、在安装结构上，采取了减振措施，保证了在运转时噪音很低，保证涂覆表面均匀，保证通过调节转速调节涂覆厚度。
5、匀胶机腔体配备吹氮(N2)功能，或压缩空气、氮气压力可通过调压阀和节流阀实现调节，与配套真空泵一同使用。
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