桌面微型紫外光刻机

 桌面微型紫外光刻机

1. 产品介绍
   桌面微型紫外光刻机，专为微米级图案制作而设计，旨在保障图形转移精度。设备采用紫外LED冷光源，结合双非球面石英透镜，可生成半角<2°的平行光，相较传统接触式曝光机，其紧凑的体积将移形换影置于桌面之上，为操作提供了便利与精准。
   该光刻机广泛适用于微流控芯片、MEMS器件、光电子器件以及声表面波器件等制备领域。其性能尤其适合高校、科研院所以及企业展开微细加工工艺研究。紧随现代技术的步伐，桌面微型光刻机的问世为微纳加工注入了新的活力，助力客户在项目目标的实现过程中迈向更高精度、更具创新性的阶段。

2. 技术参数

   曝光光源:紫外LED；

        光源波长:365nm;

        曝光面积:4英寸、6英寸可选;

        曝光方式:单面接触式定时曝光；

        曝光分辨率:2um;

        曝光强度:30~120mW/cm²可调；

        曝光不均匀性:<5%;

        光源平行性:≤2°

        光源寿命:>20000h;

        电源输入:AC220V+10V，50HZ