RTP-3系列快速退火炉

快速退火炉(RTP,Rapid Thermal Processing)系列产品，采用红外辐射加热及冷壁技术，可实现对实验材料的快速升温和降温，同时搭配超高精度的温度控制系统，可达到很好的温场均匀性，对材料的快速热处理、快速退火、快速热氧化、快速热氮化及金属合金化等研究和生产工作起到重要作用。

RTP-3系列快速退火炉主要分为RTP-3-01、RTP-3-04、RTP-3-06、RTP-3-08、RTP-3-12等,分别能处理 1-12 寸样本。

应用功能
快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)
-离子注入/接触退火
-SiAu、SiAL、SiMo合金化
-太阳能电池片键合
-电阻烧结
-低介电材料热处理
-晶体化、致密化
-材料制备
提供可控压力环境并实现以上应用提供Vac、lG、02、Gas mixture等气氛环境

    RTP-3系列快速退火炉采用红外辐射加热及冷壁技术，可实现实验样品的快速升温和降温，完成特定条件下的热处理工艺。
支持多种配置选择，如可选择 SECS/GEM、1-4路气氛、自动开关门、灯光分区控制、PID 自动配置等:可实现炉壁温度监视、水冷异常监视、真空度监视、腔体压力监视等:
丰富的附件选择:碳化硅石墨托盘、石英样品托架、红外加热灯管、石英腔体 /板、TC-Wafer 校准仪等