高低温真空探针台

 标准探针台/DCH系列高低温真空探针台

产品概要
DCH系列高低温真空探针台是我司自主研发的一款在特殊环境下给样品加载电学信号的设备。可以实现器件及材料表征的IV/CV特性测试,射频测试,光电测试等。通过液氮或者压缩机制冷,可以在防辐射屏内营造一个稳定的测试环境。在特殊材料,半导体器件等研究方向具有广泛运用。极低温测试:因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。
高温无氧化测试:当晶圆加热至300°℃,400°C,500℃甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。
技术特点
防辐射屏和热沉设计;
降温速度快,常温降至 77k<25mins,大大提高测试效率;

液氮自动控制系统,液氮流量模块和温度控制模块一起联动共同控制温度。