德国AlphaPlasma等离子去胶机主系统全自动运行

　　

　　德国AlphaPlasma等离子去胶机是专门设计用来满足晶圆批处理或单晶片处理，具有广泛应用，从晶圆的光刻胶剥离到表面改性都涉及到。该系列的设备采用PC控制，可以配套不同的等离子源，加热或不加热基片夹具,具有*的能力:可以从PE等离子刻蚀切换到RIE刻蚀模式,也就是说可以支持各向同性和各向异性的各种应用。

　　

　　德国AlphaPlasma等离子去胶机片匣导轨传送系统：

　　

　　全自动，无堵赛设计，集成到等离子主系统

　　

　　片匣通过2层传送带上下载片，提前上载或下载片

　　

　　通过使用可更换的输送板，搬运系统可以支持较大范围的基片尺寸、框架、舟等