应用： 芯片封装，工业应用，医学应用等，是小尺寸实验室R&D 或小规模生产的理想选择。

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MYCRO的SCE-604系列感应耦合等离子体（ICP）等离子体系统是用于Anatech等离子灰化机工艺的Z有效仪器。适用设备如：SCE-104, 106, 108。等体灰化1-4个样本的系统（4个独立的反应舱），每个石英反应舱是独立封闭，从而避免交叉污染。