UV-KUB 3 是一种基于掩膜对准系统的 UV-LED，具有 365nm 的可用光源。 这是一个非常紧凑的桌面系统，兼容 4 英寸晶圆和 100x100 mm² 工作表面。 由于特定的光学装置可提供最大发散角小于 2° 的准直光束，因此可实现的最小特征尺寸为 2 µm。