台式等离子清洗机

台式等离子清洗机是一款专门针对科研院所研制的小批量样品表面处理设备，利用真空环境产生等离子体去处理样品的表面，达到常规清洗方法无法达到的效果。具有设备小巧，真空腔容量大，适用于实验室环境；清洗过程不会产生高温，避免产品产生热变形；可以处理各种各样的材质，如金属、半导体、氧化物或高分子材料，应用广泛。

台式等离子清洗机特点：

u  采用射频电源、自动匹配器，一键式操控

u  低温等离子体，能量低、密度高，适合处理特殊材料

u  无环境污染、无化学品消耗

u  可处理形状复杂的材料，材料表面处理的均匀性好

u  适用性广，各种材料、形状都可以处理

设备的优点：

1、采用射频电源、自动匹配器，一键式操控。

2、低温等离子体，能量低、密度高，适合处理特殊材料。

3、无环境污染、无化学品消耗。

4、可处理形状复杂的材料，材料表面处理的均匀性好。

5、适用性广，各种材料、形状都可以处理。

腔体材质  铝合金
电源功率  0-300W可调

射频频率  13.56MHz

真空度  ≤100Pa

气体路数  2路

气体流量  MFC气体质量流量计   500SCCM（可调）

控制  触屏

清洗时间  1-6000s连续可调

处理尺寸：≤4寸

内腔尺寸  Φ147mm*145mm（直径*深）

外形尺寸  500mm*525mm*365mm（宽*深*高）

重量  ≈38KG

真空泵  爱特VRD-4