MicroXact手动探针台

使用MicroXact手动探针台进行IV，CV和低电流测试，可提供半导体器件表征所需的精确和精确测量。由于提供多种选项和MicroXact手动探针台的灵活性，晶圆上的晶圆级电容和低电流测试从未如此简单。

特征

手动平台组装可提供额外的预载滑块，便于装载和卸载晶圆或样品。

手动控制压板和卡盘Z位置，进行粗调和微调。

光滑的铸钢压板可容纳多达10个磁性或真空定位器。

同轴和三轴卡盘以及外壳可用于低泄漏电流测试。

标准吊杆安装组件，用于显微镜的全范围XYZ定位。

可用的高分辨率微定位器，带80TPI螺钉，用于探针的μm级定位

可用的高分辨率微定位器，带80TPI螺钉，用于探针的μm级定位。

可用的RF选项包括可定制的RF探头，RF卡盘和屏蔽罩。