便携式光学膜厚仪

简要描述：品牌：希腊ThetaMetrisis名词：膜厚仪膜厚仪、测厚仪、干涉仪、厚度测量仪干涉仪是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动，而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起，所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量，从而测得与此有关的其他物理量。

产品型号：FR-portable
厂商性质：代理商
更新时间：2024-05-16
访问量：5440

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光学膜厚仪

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详细介绍

便携式膜厚仪主要由以下系统组成：

Α白炽-LED混合集成式光源系统，通过内嵌式微处理器控制，使用寿命超过20000小时。

小型光谱仪，光谱范围370nm –1050nm,分辨精度可达3648像素， 16位级 A/D 分辨精度；配有USB通讯接口；

Β) FR-Monitor膜厚测试软件系统，

可精确计算如下参数：

1）单一或堆积膜层的厚度；

2）静态或动态模式下，单一膜层的折射率；本软件包含了类型丰富的材料折射率数据库，可以有效地协助用户进行线下或者在线测试分析。本系统可支持吸收率，透射率和反射率的测量，还提供任何堆积膜层的理论性反射光谱，一次使用授权，即可安装在任何其他电脑上作膜厚测试后的结果分析使用。

C) 参考样片：

a) 经校准过的反射标准硅片；

b) 经校准过的带有SiO₂/Si 特征区域的样片；

c) 经校准过的带有Si₃N₄/SiO₂/Si特征区域的样片；

D) 反射探针台和样片夹具

可处理大的样品尺寸达200mm, 包含不规则的尺寸等；

手动调节可测量高度可达50mm；

可针对更大尺寸订制样片夹具；

Ε) 反射率测量的光学探针

内嵌系统6组透射光探针200μm, 1组反射光探针200μm；

F) 附件

FR-portable透射率测量套件；

Thickness measurement range	12nm – 90μm
Refractive Index calculation	P
Thickness measurement Accuracy	0.2% or 1nm
Thickness measurement Precision	0.04nm or 1‰ (0.01nm)
Thickness measurement stability	0.02nm
Sample size	1mm to 200mm and up
Spectral Range	400nm – 1100nm
Working distance	3mm-20mm
Spot size	0.35mm (diameter of the reflectance area)
Light Source Lifetime	20000h
Wavelength resolution	0.8nm
Number of Layers Measured	Max. 5 layers
Measurement time (max acquisition speed)	10ms/point
A/D converter	16 bit
Power	USB – supplied
Dimensions	300mm x 110mm x 40mm

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