微米级光学薄膜测厚仪

FR-uProbe是涂层表征应用的解决方案，要求光斑尺寸小*小微米，例如微图案表面，具有不规则表面的样品，其表现出高水平的散射光和许多其它。使用FR-uProbe，在UV / Vis / NIR上的局部薄膜厚度，光学常数，反射率，透射率和吸光度测量只需点击即可。

FR-uProbe简单地连接到大多数商用光学显微镜的C接口适配器，并提供：

o实时光谱测量

o薄膜厚度，光学性能，非均匀性测量

o使用集成的USB连接和高质量彩色相机进行成像

o显微镜本身的性能不受影响

工作原理

白光反射光谱（WLRS）测量在一定波长范围内从薄膜或多层叠堆反射的光量，入射光垂直于（垂直于）样品表面。

通过来自界面的干涉产生的测量的反射光谱用于确定自支撑和支撑（在透明或部分/全反射基板上）薄膜堆叠的厚度，光学常数（n和k）等。

应用

o大学和研究实验室

o半导体（氧化物，氮化物，硅，抗蚀剂等）

o MEMS器件（光刻胶，硅膜等）

o LED

o数据存储

o阳极氧化

o弯曲基板上的硬/软涂层

o聚合物涂料，粘合剂等

o生物医学（聚对二甲苯，气球壁厚等）

特征

o   单击分析（无需初始猜测）

o   动态测量

o   集成USB摄像头

o   保存视频进行演示

o    350+不相同的材料

o    3年免费软件更新

o   在Windows 7/8/10上运行